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产品特性:测厚仪 | 是否进口:否 | 产地:日本 |
加工定制:否 | 类型:薄膜测厚仪 | 品牌:Filmetrics |
型号:F3-sX | 测量范围:10mm |
Filmetrics膜厚测量仪F3-sX薄膜厚度测量仪
F3-sX利用光谱反射原理,可以测试众多半导体及电解层的厚度,可测厚度达3毫米。此类厚膜,相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀,F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且能在几分之一秒内完成。
满足薄膜厚度范围从15nm到3mm的厚度测试系统
F3-sX利用光谱反射原理,可以测试众多半导体及电解层的厚度,可测厚度达3毫米。此类厚膜,相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀,F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且能在几分之一秒内完成。
波长选配
F3-sX采用的是近红外光(NIR)来测量膜层厚度,因此可以测试一些肉眼看不透明的膜层( 比如半导体膜层) 。980nm波长型号,F3-s980,针对低成本预算应用。F3-s1310针对于高参杂硅应用。F3-s1550则针对较厚膜层设计。
配件
配件包括自动绘图平台、测量点可视化的摄像机, 和可见光波段选项,使测量厚度能力小到15纳米。此外数据采集速率达到1kHz。
应用
Si晶圆厚度测试
保形涂层
IC 芯片失效分析
厚光刻胶(比如SU-8光刻胶)
附加特性
嵌入式在线诊断方式
免费离线分析软件
存储,重现与绘制测试结果
F20
F50
F10-RT
F54
F54-XY-200
F3-sX
代 理日 本各类工业品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏,Nordson诺信EFD,IEI岩下,aicohsha爱工舍ACM(特殊立式搅拌机),KLEENTEK可滤特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川,YODOGAWA淀川电机,MALCOM马康,USHIO牛尾,SHOWA DENKI昭和电机,TSUBAKI椿本,morite茉莉特,KIKUSUI菊水,HOZAN宝山,TRUSCO中山,cedar思达,MEISEI迈泽(电热剥线器)、SANKO山高(金属探测器、膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所 (直流电源)MITSUBISHI三菱 (UPS电源、PLC自动化)
CCS光源(视觉光源、检查光源)、Tsubosaka壶坂(灯箱、光度计、辉度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照灯、HID强光灯、检查灯)AITEC艾泰克(检查光源)、Iwasaki岩崎(金卤灯、HID灯、UV灯)
OTSUKA大塚电子(光学膜厚仪、相位差测试仪、粒度仪)、LUCEO鲁西欧(表面应力仪、偏光应力仪)
KYOWA共和(应变片、压力传感器)、ONOSOKKI小野测器(传感器、检测仪)
CKD(气动元件、电缸)、FUJIKURA藤仓(单向阀、泄压阀、摩擦气缸)
TOKISANGYO东机产业(粘度计)、ASKER高分子计器(橡胶硬度计、试验机)SK新泻精机(水平尺、水平测量仪器)SKSATO佐藤(温度计、温度记录仪)、上海一恒仪器 (恒温箱、烘箱、)、TECLOCK得乐(硬度计、千分表)、AND爱安得(电子天平、工业天平)、KEM京都电子(水分仪、自动电位滴定仪)
TOHNICHI东日(扭力扳手、螺丝刀)KANON中村(电动螺丝刀、扭力工具)
Heishin兵神(泵、点胶机)、KOKUSAN科库森离心机、YUASA汤浅(柔性屏弯折试验机)、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT东日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(磁力设备、高斯计)
ASONE亚速旺(实验室仪器、车间穿戴装备)、SAKURAI樱井(无尘纸、热敏纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO 尼利可(电动执行器、传感器)