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| 产品特性：测厚仪 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 类型：薄膜测厚仪 | 品牌：Filmetrics |
| 型号：Zeta-388 | 测量范围：10mm |
Filmetrics光学轮廓仪Zeta-388 白光共聚焦
Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot 技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）***远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、低拥有成本，以及SECS / GEM通信，适用于研发及生产环境。
Zeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）***远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、低拥有成本，以及SECS / GEM通信，适用于研发及生产环境。
产品描述
Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。 Zeta-388继承了Zeta-300的功能，并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂，可实现全自动测量。该系统采用ZDot技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-388的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color***远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-388也是一款显微镜，可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送，适用于研发及生产环境。
主要功能
采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用
可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
ZDot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）***远焦点图像
ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨***的广域测量
ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化
生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量
晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品
主要应用
台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度
纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
外形：3D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷
缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
工业应用
LED：发光二极管和PSS（图案化蓝宝石基板）
半导体和化合物半导体
半导体 WLCSP（晶圆级芯片级封装）
半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）
PCB和柔性PCB
MEMS（微机电系统）
医疗设备和微流体设备
F20
F50
F10-RT
F54
F54-XY-200
F3-sX
Filmetrics-F40
F32
F10-AR
F54-XYT-300
F10-HC
F60-t
Smart SE
Film Sense FS-1
AutoSE
Zeta-20
Zeta-388
代 理日 本各类工业品：日本SAN-EI TECH三英，MUSASHI武藏，Nordson诺信EFD，IEI岩下，aicohsha爱工舍ACM（特殊立式搅拌机），KLEENTEK可滤特，ASAHIKASEI旭化成，TAGAWA十川，YODOGAWA淀川电机，MALCOM马康，USHIO牛尾，SHOWA DENKI昭和电机，TSUBAKI椿本，morite茉莉特，KIKUSUI菊水，HOZAN宝山，TRUSCO中山，cedar思达，MEISEI迈泽（电热剥线器）、SANKO山高（金属探测器、膜厚仪）、TAKASAGO高砂制作所 （直流电源）MITSUBISHI三菱 （UPS电源、PLC自动化）
CCS光源（视觉光源、检查光源）、Tsubosaka壶坂（灯箱、光度计、辉度箱、光源）、POLARION普拉瑞（探照灯、HID强光灯、检查灯）AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎（金卤灯、HID灯、UV灯）
OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪、相位差测试仪、粒度仪）、LUCEO鲁西欧（表面应力仪、偏光应力仪）
KYOWA共和（应变片、压力传感器）、ONOSOKKI小野测器（传感器、检测仪）
CKD（气动元件、电缸）、FUJIKURA藤仓（单向阀、泄压阀、摩擦气缸）
TOKISANGYO东机产业（粘度计）、ASKER高分子计器（橡胶硬度计、试验机）SK新泻精机（水平尺、水平测量仪器）SKSATO佐藤（温度计、温度记录仪）、上海一恒仪器 （恒温箱、烘箱、）、TECLOCK得乐（硬度计、千分表）、AND爱安得（电子天平、工业天平）、KEM京都电子（水分仪、自动电位滴定仪）
TOHNICHI东日（扭力扳手、螺丝刀）KANON中村（电动螺丝刀、扭力工具）
Heishin兵神（泵、点胶机）、KOKUSAN科库森离心机、YUASA汤浅（柔性屏弯折试验机）、
SIMCO思美高，SSD西西蒂，DIT东日技研，KASUGA春日，TRINC高柳（静电仪器设备）、Kanetec强 力（磁力设备、高斯计）
ASONE亚速旺（实验室仪器、车间穿戴装备）、SAKURAI樱井（无尘纸、热敏纸）、Nitto-Kohki日东工器（快速接头）、NIRECO 尼利可（电动执行器、传感器）
